快速气体减压性能

快速气体减压性能

能够应对压力突变带来的挑战

FFKM(氟化弹性体)密封件的快速气体减压性能是其在高速气体减压应用中表现出来的关键特性。FFKM具有极好的弹性和恢复性,这使其在快速气体减压过程中能够应对压力突变带来的挑战。当气体减压时,密封件需要快速适应压力变化并恢复原状,而FFKM的弹性特性确保其在压力波动中依然能够维持良好的密封性能。

适应快速气体减压:FFKM的弹性允许密封件在短时间内适应压力的变化,尤其在压力从高压转至低压时,FFKM密封件能迅速恢复原状,避免气体泄漏。

适应快速压力变化:高性能弹性体具有优异的弹性,可以快速恢复形变,适应气体减压过程中的瞬时压力变化。

良好的密封性能:在气体压力迅速下降时,弹性体密封件能够确保气体不泄漏,从而保持系统的稳定性。

能够应对压力突变带来的挑战


FFKM(氟化弹性体)密封件的快速气体减压性能是其在高速气体减压应用中表现出来的关键特性。FFKM具有极好的弹性和恢复性,这使其在快速气体减压过程中能够应对压力突变带来的挑战。当气体减压时,密封件需要快速适应压力变化并恢复原状,而FFKM的弹性特性确保其在压力波动中依然能够维持良好的密封性能。

适应快速气体减压:FFKM的弹性允许密封件在短时间内适应压力的变化,尤其在压力从高压转至低压时,FFKM密封件能迅速恢复原状,避免气体泄漏。

适应快速压力变化:高性能弹性体具有优异的弹性,可以快速恢复形变,适应气体减压过程中的瞬时压力变化。

良好的密封性能:在气体压力迅速下降时,弹性体密封件能够确保气体不泄漏,从而保持系统的稳定性。

更多方案

热稳定性能

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全氟弹性体部件之所以表现出良好的热稳定性和耐化学性,归功于其全氟链中碳氟键的强大作用

减少晶圆工艺污染

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全氟橡胶 (FFKM) 因其对化学物质(包括反应性等离子体和高达 330°C 的极端高温)的超强耐受性而被用作晶圆加工设备上的密封件。

化学耐受性

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全氟橡胶 (FFKM) 部件可抵御超过1600种不同的化学品、溶剂和等离子体的腐蚀。

密封和除气性能

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在晶圆加工过程中,密封和除气性能是非常关键的,因为任何气体的存在或释放都会对晶圆的质量、精度以及生产效率产生严重影响。