ZFKM® PZ-7020
透明密封件，半导体专用，耐等离子体
| 工作温度： | 280℃ |
| 硬度（Shore A)： | 69-72 |
| 关键性能： | 透明色，耐等离子体特性，超高洁净度 |
| 对标杜邦牌号： | Kalrez 8002 |
| 适用行业： | 半导体行业 |
| 透明色外观，专为半导体应用设计，具备优异的耐等离子体性能，适用于严苛洁净与高端制程环境。 | |
ZFKM® PZ-7020
透明密封件，半导体专用，耐等离子体 产品介绍
- 产品描述
- 特点与优势
- 解决方案
- 详细参数
- 流程
- 定制
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优异的抗等离子体性能
PZ-7020 采用透明色外观设计，此材质完全不含填料，照射等离子体时几乎不产生微粒。
与矿物填充型产品相比，其具备更优异的抗等离子体裂纹性能，在氧基和氟基等离子体环境中可实现超低颗粒生成，有效满足高洁净度工艺要求。
它在干式化学介质中表现出卓越的耐腐蚀性能，同时兼具良好的机械强度，非常适合静态、低应力/低密封力以及“特定”粘合门封应用。
PZ-7020 的建议最高连续使用温度为280°C（536°F），广泛应用于半导体制造及相关高端工艺设备领域。
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PZ-7020产品设计用于广泛的应用。无论环境有多苛刻，我们的团队都会与您合作，为您的工作确定正确的解决方案。
应用包括：
- 气体入口密封件
- 气体孔口密封件
- 气体通过密封件输送
- “精选”粘合门封
- 其他静态和低应力/低密封力应用
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性能 数值 颜色 透明色 硬度，邵氏A 75 100%模量，MPa （psi） 2.30（334) 断裂抗拉强度，MPa （psi） 23.10(3350) 断裂伸长率，% 256 压缩集，%
70 hr. at 204 °C (400°F)
12 最大应用温度，°C（°F） 280（536℉） -
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ZFKM® PZ-7020
透明密封件，半导体专用，耐等离子体 解决方案
PZ-7020产品设计用于广泛的应用。无论环境有多苛刻，我们的团队都会与您合作，为您的工作确定正确的解决方案。
应用包括：
- 气体入口密封件
- 气体孔口密封件
- 气体通过密封件输送
- “精选”粘合门封
- 其他静态和低应力/低密封力应用
ZFKM® PZ-7020
透明密封件，半导体专用，耐等离子体 技术资料
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