热稳定性能

热稳定性能

良好的热稳定性和耐化学性

耐热性

全氟弹性体部件之所以表现出良好的热稳定性和耐化学性,归功于其全氟链中碳氟键的强大作用。即使在高达325°C的长期高温环境中,我们的密封件相较于其他弹性体,仍能保持更佳的弹性和复原能力。不会发生塑性变形、软化或硬化,这些往往是导致密封件性能下降和最终失效的关键因素。

低压缩变形

我们的密封件压缩变形率低,在去除外部压力后,能够迅速恢复到原来的厚度和形状。我们的密封件在工作状态下即使长时间承受压力,也不会永久压缩或变形,从而保持有效的密封性能。

良好的热稳定性和耐化学性


耐热性

全氟弹性体部件之所以表现出良好的热稳定性和耐化学性,归功于其全氟链中碳氟键的强大作用。即使在高达325°C的长期高温环境中,我们的密封件相较于其他弹性体,仍能保持更佳的弹性和复原能力。不会发生塑性变形、软化或硬化,这些往往是导致密封件性能下降和最终失效的关键因素。

低压缩变形

我们的密封件压缩变形率低,在去除外部压力后,能够迅速恢复到原来的厚度和形状。我们的密封件在工作状态下即使长时间承受压力,也不会永久压缩或变形,从而保持有效的密封性能。

更多方案

减少晶圆工艺污染

减少晶圆工艺污染


全氟橡胶 (FFKM) 因其对化学物质(包括反应性等离子体和高达 330°C 的极端高温)的超强耐受性而被用作晶圆加工设备上的密封件。

快速气体减压性能

快速气体减压性能


FFKM(氟化弹性体)密封件的快速气体减压性能是高速气体减压应用中的一个关键特性。

化学耐受性

化学耐受性


全氟橡胶 (FFKM) 部件可抵御超过1600种不同的化学品、溶剂和等离子体的腐蚀。

密封和除气性能

密封和除气性能


在晶圆加工过程中,密封和除气性能是非常关键的,因为任何气体的存在或释放都会对晶圆的质量、精度以及生产效率产生严重影响。