解决方案
热稳定性能

热稳定性能

全氟弹性体部件之所以表现出良好的热稳定性和耐化学性，归功于其全氟链中碳氟键的强大作用

减少晶圆工艺污染

减少晶圆工艺污染

全氟橡胶 (FFKM) 因其对化学物质（包括反应性等离子体和高达 330°C 的极端高温）的超强耐受性而被用作晶圆加工设备上的密封件。

快速气体减压性能

快速气体减压性能

FFKM（氟化弹性体）密封件的快速气体减压性能是高速气体减压应用中的一个关键特性。

化学耐受性

化学耐受性

全氟橡胶 (FFKM) 部件可抵御超过1600种不同的化学品、溶剂和等离子体的腐蚀。

密封和除气性能

密封和除气性能

在晶圆加工过程中，密封和除气性能是非常关键的，因为任何气体的存在或释放都会对晶圆的质量、精度以及生产效率产生严重影响。

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